小高敏夫さん死去、８７歳 東京エレクトロン創業者

半導体製造装置大手の東京エレクトロンを創業した小高敏夫（こだか・としお）さんが３月２４日午後５時２０分、東京都内の自宅で死去した。８７...関連キーワードはありません